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輕量、緊湊、銷量高，低溫泵的標(biāo)準(zhǔn)。適用于實(shí)驗(yàn)裝置與小型生產(chǎn)裝置。可以多臺(tái)運(yùn)行（大3臺(tái)）。可以達(dá)到超高真空（10-8Pa以下）。日本愛發(fā)科標(biāo)準(zhǔn)低溫真空泵CRYO-U8H維修保養(yǎng)

能發(fā)揮4型的低溫泵的高排氣特性。高排氣速度對(duì)于排氣效率與生產(chǎn)性提高都能做出貢獻(xiàn)。特別適用在半導(dǎo)體制造的濺射工藝裝置和小規(guī)模的裝置上。1臺(tái)壓縮機(jī)可以支持4臺(tái)低溫泵同時(shí)運(yùn)作。可以按照用途的不同進(jìn)行設(shè)計(jì)、制作。日本愛發(fā)科標(biāo)準(zhǔn)低溫真空泵CRYO-U6H維修保養(yǎng)

特點(diǎn)輕量、緊湊，在標(biāo)準(zhǔn)品種尺寸小。適用於實(shí)驗(yàn)室研究室的小型真空設(shè)備中。特別適用在半導(dǎo)體制造的濺射工藝裝置和小規(guī)模的裝置上。可以多臺(tái)運(yùn)行（大3臺(tái)）。可以達(dá)到超高真空（10-8Pa以下）。日本愛發(fā)科標(biāo)準(zhǔn)低溫真空泵CRYO-U4H維修

ULVAC的PBL型油擴(kuò)散噴射泵運(yùn)用了長(zhǎng)年的研究成果與豐富的製造經(jīng)驗(yàn)所設(shè)計(jì)而成的。運(yùn)用到了眾多高真高空設(shè)備中，它的實(shí)用性得到了非常高的評(píng)價(jià)。愛發(fā)科油擴(kuò)散噴射真空泵 PBL系列維修保養(yǎng)

ULVAC的ULK型油擴(kuò)散泵運(yùn)用了長(zhǎng)年的研究成果與豐富的製造經(jīng)驗(yàn)所設(shè)計(jì)而成的。運(yùn)用到了眾多高真高空設(shè)備中，它的實(shí)用性得到了非常高的評(píng)價(jià)。愛發(fā)科油擴(kuò)散真空泵PFL系列PFL-22維修保養(yǎng)