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氦檢漏上門服務采用的氦檢漏試驗裝置由氦質譜檢漏儀、抽真空機組、真空表、壓力表等設備和儀器儀表所組成。氦質譜儀主要有進樣系統、離子源、質量分析器、收集放大器、冷陰極電離真空計等組成。

Edwards APG100 有源皮拉尼真空計包括標準型和防腐蝕型，測量范圍分別為從大氣壓到 10-3 或 10-4。這種真空計與所有 Edwards TIC 儀表控制器兼容，*符合 RoHS 指令。英國愛德華APG100 有源皮拉尼真空計